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    1. 產品中心

      Product Center

      低溫真空探針臺

      產品簡介

      低溫真空探針臺 廣泛應用于半導體工業(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域。為了提高系統的實用性,系統還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。

      產品型號:
      更新時間:2024-03-27
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:3390
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      品牌鄭科探

        低溫真空探針臺是一款為晶片、器件和材料(薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等)提供真空和低溫測試條件下進行非破壞性的電學表征和測量平臺??梢詫Σ牧匣蚱骷M行電學特性測量、光電特性測量、參數測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量,

          低溫真空探針臺廣泛應用于半導體工業(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域。為了提高系統的實用性,系統還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。

         KT-Z1604T探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

           該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環境下精密移位調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-20mm;z方向調節范圍:0-20mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測

      真空腔體

      腔體材質

      304不銹鋼

      上蓋開啟

      鉸鏈側開

      加熱臺材質

      304不銹鋼

      內腔體尺寸

      φ160x90mm

      觀察窗尺寸

      Φ70mm

      加熱臺尺寸

      φ60mm

      觀察窗熱臺間距

      75mm

      加熱臺溫度

      35-350

      加熱臺溫控誤差

      ±1

      真空度

      機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

      允許正壓

      ≤0.1MPa

      真空抽氣口

      KF25真空法蘭

      氣體進氣口

      3mm-6mm卡套接頭

      電信號接頭

      SMA轉BNC X 4

      電學性能

      絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

      探針數量

      4探針

      探針材質

      鎢針  

      探針尖

      10μm

      探針移動平臺

      X軸移動行程

      30mm    ±15mm

      X軸控制精度

      ≤0.01mm

      Y軸移動行程

      13mm    ±12.5mm

      Y軸控制精度

      ≤0.01mm

      Z軸移動行程

      13mm    ±12.5mm

      Z軸控制精度

      ≤0.01mm

      電子顯微鏡

      顯微鏡類別

      物鏡

      物鏡倍數

      0.7-4.5

      工作間距

      90mm

      相機

      sony 高清

      像素

      1920※1080像素

      圖像接口

      VGA

      LED可調光源

      顯示屏

      8

      放大倍數

      19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm



       

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